X軸

測量范圍

100mm（CV-2100）

分辨率

0.1μm

測量方法

反射型線性編碼器

驅動速度

0.2,1mm/s和手動

測量速度

0.02-5mm/s

測量方向

向后

直線度

2.5μm /100mm(CV-2100)

*當X軸在水平方向上

指示精度

（20℃）

±（2.5+0.02L）μm

L為驅動長度（mm）

傾斜范圍

±45°（CV-2000）

Z1軸

測量范圍

25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000）

分辨率

0.1μm（CV-2100系列）

測量方法

弧形編碼器

指示精度

（20℃）

±（2.5+0.1H）μm）

H為水平位置上的測量高度（mm）

探針上下運作

弧形運動

探針方向

向下

測力

10-30mN

跟蹤角度

向上

77°

向下

87°

探針針尖

半徑

25μm

材料

硬質合金針尖

尺寸（LxH）

745x450x885mm（CV-2000）

基座材料

花崗巖（CV-2100）

重量

主機

145.8kg（CV-2000M4)

控制裝置

14kg 

遙控箱

0.9kg

電源

100-240VAC±10% 50/60Hz

能耗

150W僅限主機

Z2軸（立柱，僅用于CV-2100）

立柱類型

電動（S4型）和手動（M4型）

垂直行程

250mm（S4型）和320mm（M4型）

分辨率

0.2um（S4型）

檢測方法

ABSOLUTE線性編碼器（S4型）

驅動速度

0-5mm/s和手動

型號

CV-1000N2

CV-2000N4

CV-2000S4

X1軸測量范圍

50mm

100mm

100mm

Z1軸測量范圍

25mm

40mm

40mm

Z2軸測量范圍

-

250mm

320mm